آلة طلاء الفراغ بالتبخير ومقدمة المبدأ المادي- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

تبخر آلة طلاء الفراغ والمقدمة المادية

تتكون آلة الطلاء بالفراغ بالتبخير بشكل أساسي من غرفة مفرغة ونظام ضخ بالفراغ. تحتوي غرفة التفريغ على مصدر تبخر (أي سخان تبخر) ، وقاعدة وحامل ركيزة ، وسخان ركيزة ، ومصدر طاقة ، وزورق تبخير ، وقضيب إلكترود. يتضمن نظام التفريغ ضخًا تقريبيًا ، وضخًا وسيطًا ، وضخًا دقيقًا ، وما إلى ذلك ، بما في ذلك المضخة الميكانيكية ، ومضخة الجذور ، ومضخة الانتشار أو المضخة الجزيئية.

يتم وضع مادة الطلاء في مصدر التبخر في حجرة التفريغ. في ظل ظروف فراغ عالية ، يتم تسخين مصدر التبخر لتبخيره. عندما يكون متوسط المسار الحر لجزيئات البخار أكبر من الحجم الخطي لغرفة التفريغ ، فإن ذرات وجزيئات بخار الفيلم سوف تتبخر من مصدر التبخر. بعد هروب سطح المصدر ، نادرًا ما يصطدم ويعيقه جزيئات أو ذرات أخرى ، ويمكن أن يصل مباشرة إلى سطح الركيزة المراد طلاؤها. بسبب انخفاض درجة حرارة الركيزة ، تتكثف جزيئات بخار مادة الفيلم عليها لتشكيل فيلم.

من أجل تحسين الالتصاق بين الجزيئات المتبخرة والركيزة ، يمكن تنشيط الركيزة عن طريق التسخين المناسب أو التنظيف الأيوني. تكون العملية الفيزيائية لطلاء التبخر بالفراغ من تبخر المواد ، والنقل إلى الترسيب وتشكيل الفيلم كما يلي:

(1) استخدم طرقًا مختلفة لتحويل أشكال أخرى من الطاقة إلى طاقة حرارية ، وتسخين مادة الفيلم لتتبخر أو تسامي ، وتصبح جزيئات غازية (ذرات أو جزيئات أو مجموعات ذرية) بطاقة معينة (0.1 ~ 0.3 eV):

(2) تترك الجسيمات الغازية سطح مادة الغشاء ويتم نقلها إلى سطح الركيزة في خط مستقيم مع سرعة حركة كبيرة دون تصادم ؛

(3) تتكثف الجزيئات الغازية التي تصل إلى سطح الركيزة وتتكون النواة وتنمو إلى طبقة صلبة ؛

(4) يتم إعادة ترتيب الذرات المكونة للغشاء الرقيق أو ربطها كيميائيًا.

آلة الطلاء بالفراغ اليومية تستخدم تقنية التبخير لطلاء الألمنيوم ، فلوريد المغنيسيوم ، الذهب ، الفضة ، إلخ ، لأنها تتميز بنقطة انصهار منخفضة ، مما يجعلها ملائمة للتبخر السريع والتسامي.