ما هي تصنيفات آلات الطلاء بالفراغ الأيوني- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

في آلة طلاء الفراغ يستخدم على نطاق واسع في الحياة ، لأنه غير ملوث ، وله مزايا سرعة الترسيب السريع ، ومعدل التأين العالي ، والطاقة الأيونية الكبيرة ، وتشغيل المعدات البسيط ، والتكلفة المنخفضة ، وما إلى ذلك ، لذلك فهو محبوب من قبل العديد من الشركات ، ثم فراغه ما هو مبدأ الطلاء الأيوني لآلة الطلاء؟ اسمحوا لي أن أقدم لكم بالتفصيل:

يتم تحضير الأغشية في فراغ ، بما في ذلك طلاء المعدن البلوري ، وأشباه الموصلات ، والعازل ، والأغشية الأولية أو المركبة الأخرى. على الرغم من أن ترسيب البخار الكيميائي يستخدم أيضًا طرقًا فراغية مثل الضغط المنخفض أو الضغط المنخفض أو البلازما ، فإن الطلاء بالفراغ يشير عمومًا إلى ترسب الأغشية الرقيقة بالطرق الفيزيائية. هناك ثلاثة أشكال من الطلاء بالفراغ ، وهي الطلاء بالتبخير والطلاء بالرش والطلاء الأيوني.

الطلاء الأيوني هو استخدام تصريف الغاز أو التأين الجزئي للمواد المتبخرة في غرفة تفريغ ، وفي نفس الوقت الذي يتم فيه قصف أيونات الغاز أو جزيئات المواد المتبخرة ، يتم ترسيب المواد المتبخرة أو المواد المتفاعلة على الركيزة. يجمع طلاء الأيونات بين ظاهرة التفريغ المتوهج وتقنية البلازما والتبخر بالفراغ ، مما لا يحسن جودة الفيلم بشكل كبير فحسب ، بل يوسع أيضًا نطاق تطبيق الأغشية الرقيقة. تتمثل مزاياها في التصاق فيلم قوي ، وانحراف جيد ، ومجموعة واسعة من مواد الأفلام. هناك العديد من أنواع الطلاء الأيوني ، وتشمل طرق علاج مصادر التبخر التسخين بالمقاومة ، وتسخين شعاع الإلكترون ، وتسخين شعاع الإلكترون بالبلازما ، والتدفئة بالحث عالي التردد ، وما إلى ذلك.

ومع ذلك ، فإن الطلاء متعدد الأيونات يختلف اختلافًا كبيرًا عن الطلاء الأيوني العام. يستخدم الطلاء الأيوني متعدد القوس تفريغ القوس بدلاً من التفريغ المتوهج للطلاء الأيوني التقليدي للترسيب. ببساطة ، مبدأ طلاء الأيونات متعدد القوس هو استخدام هدف الكاثود كمصدر للتبخر ، ومن خلال تفريغ القوس بين الهدف وغلاف الأنود ، يتم تبخير المادة المستهدفة ، وبالتالي تكوين بلازما في الفضاء والترسيب الركيزة